温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及碳化硅技术领域，一种碳化硅衬底片封装装置，包括用于盛装衬底片的盒体单元和设置在盒体单元上的盒盖单元；盒体单元内设有多个用来容纳衬底片的存放槽和位于存放槽下方的空腔，且存放槽的底部和空腔连通，空腔内设有用来将衬底片取出的取片机构；盒...
该专利属于南通罡丰科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通罡丰科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。