下载一种叠成机位移平台的技术资料

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一种叠成机位移平台,固定板上端面设有X轴向的第一凹槽,X轴向位移平台下端通过第一导向结构嵌合在第一凹槽内,并通过第一驱动装置驱动在固定板上X轴向位移;X轴向位移平台上端面设有Y轴向的第二凹槽,Y轴向位移平台下端通过第二导向结构嵌合在第二凹槽...
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