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本发明为一种制备粒状多晶硅的新型流化床反应装置。该装置为釜式反应器，其中反应器腔体装有冷却夹层，夹层上有冷却介质进出口；腔体的上部装有硅粒进料口、带滤网的出气口，顶部安装有加热器；中部装有气体分布板、反应原料气进口；下部开有流化气进气口、出...
该专利属于中国科学院过程工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院过程工程研究所授权不得商用。

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