下载芯片表面缺陷检测装置的技术资料

文档序号:38505245

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本实用新型涉及检测设备的技术领域,特别是涉及芯片表面缺陷检测装置,其提高装置检测效率,增加操作便捷性;包括检测箱、安装底座、移动台、定位框、传动梁、传动曲轴、传动蜗轮、驱动机构和传动机构,检测箱安装在安装底座上,移动台配合滑动安装在检测箱槽...
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