下载一种光学相控阵雷达光束扫描技术及波导制备方法的技术资料

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本发明提出了一种光学相控阵雷达光束扫描技术及波导制备方法,属于光学波导激光雷达领域。本发明利用掺杂材料作为包层,通过控制包层中的掺杂类型和掺杂浓度改变材料的电学特性并使其成为电极,而光波导的芯层采用无掺杂的本征层,利用其高电阻特性,在波导层...
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