下载制造太阳能电池的方法的技术资料

文档序号:3849503

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本发明公开了一种制造太阳能电池的方法,该方法包括:对P型多晶硅晶片喷沙后,进行预清洗;对该晶片的衬底进行N型掺杂物的重掺杂;在该晶片的衬底表面,沉积多晶硅层;进行快速退火处理;对该晶片边缘绝缘处理后,采用氢氟酸刻蚀去磷玻璃。本发明提供的方法...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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