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本公开涉及单片式流体传感器系统及其制造方法。单片式流体传感器系统包括：传感器构件，具有在传感器基板的第一主表面区域上的热辐射发射器、滤光器结构、波导结构和热辐射检测器；覆盖基板，凹部布置在接合到与传感器基板的第一主表面区域的覆盖基板的第一主...
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