下载一种氮气发生装置的技术资料

文档序号:38468988

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本发明公开了一种氮气发生装置,包括进气模块、空气处理模块、氮氧分离模块、氮气纯化模块和第一缓冲容器,第一富氮气体出口与氮气纯化模块连通,氮气纯化模块的出口端设有第一氮气纯度检测装置,氮气纯化模块与第一缓冲容器之间连接有比例阀,第二富氮气体出...
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