下载一种电写光读氮化物铁电神经形态器件及其制备方法的技术资料

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本发明公开了一种电写光读氮化物铁电神经形态器件及其制备方法。本发明各层结构在同一设备的同一腔体中全外延实现,有利于提升界面质量,并提升器件的可靠性;利用多层复合式铁电层功能层,有利于增强器件的多态特性,通过精确控制超晶格中各层氮化物铁电层的...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。

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