下载外延结构及其制备方法的技术资料

文档序号:38458212

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本发明涉及发光二极管制造领域,公开了一种外延结构及其制备方法,该外延结构包括衬底及依次层叠设置在所述衬底上的低温GaN缓冲层、未掺杂GaN层、N型GaN层、有源层、电子阻挡层及P型GaN层,所述有源层包括依次层叠的第一超晶格层、第二超晶格层...
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