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本申请提供一种新型蚀刻机回流装置，涉及蚀刻机技术领域，包括箱体，所述箱体顶部设有抽风机，所述抽风机连接有抽气管，所述抽气管延伸至所述箱体内，所述箱体的内壁相对两侧设有一组凹槽，所述凹槽内设有过滤隔离布，所述过滤隔离布的下方设有传送滚轮模组，...
该专利属于敬鹏(常熟)电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过敬鹏(常熟)电子有限公司授权不得商用。

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