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本发明提供一种BSE补偿装置，包括第一光刻补偿模块，其用于获取多个shot光刻以及刻蚀的第一误差以设置第一补偿值；第一关键尺寸检测模块，其用于获取显影后关键尺寸检测以及刻蚀后关键尺寸检测的第一数据，将第一数据反馈至第一光刻补偿模块；第二光刻...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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