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本发明公开了用于石墨舟设备的硅片取放装置，涉及硅片加工领域。用于石墨舟设备的硅片取放装置，包括安装框板，所述安装框板固定安装在机械手的端部，还包括：吸附板，等间距安装在所述安装框板上；用于驱动所述吸附板移动的驱动部，安装在所述安装框板上；辅...
该专利属于中润新能源（徐州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中润新能源（徐州）有限公司授权不得商用。

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