下载一种使用离子束刻蚀匹配光刻构建图案化制备新型结构钙钛矿太阳能电池的方法的技术资料

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本发明公开了一种使用离子束刻蚀匹配光刻构建图案化制备新型结构钙钛矿太阳能电池的方法,在基底表面依次制备电子传输层、绝缘层和金属电极层,然后对金属电极层进行表面抛光处理后匀光刻胶,然后以显影后的光刻胶作为金属电极层和绝缘层的遮挡层,进行离子束...
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