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本发明提供的是一种用于光栅读数头位移偏移校准的方法，属于精密测量领域。所述方法包括：规划测量路径，设定测量点，设定工作台姿态，在每个测量点都设置工作台姿态Z、Rx、Ry、Rz为零；分别在3读数头组合和4读数头组合的有效区域内的测量点处执行测...
该专利属于桂林电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过桂林电子科技大学授权不得商用。

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