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本申请实施例提供了一种晶圆缺陷的检测方法和装置、电子设备及存储介质，属于半导体领域。该方法包括：获取晶圆样品图像，对晶圆样品图像进行图像标注，得到图像训练数据，基于图像训练数据对预先获取的神经网络模型进行训练，得到晶圆缺陷检测模型，获取待检...
该专利属于深圳市格灵精睿视觉有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市格灵精睿视觉有限公司授权不得商用。

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