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本发明提供了一种晶圆测试系统及方法，测试系统包括：测试设备，用于输出第一测试电流；多级均流器，包括第一均流器和第二均流器；第一均流器，用于将第一测试电流分流为第二测试电流；第二均流器，用于将第二测试电流分流为第三测试电流，并用于将第三测试电...
该专利属于佛山市联动科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市联动科技股份有限公司授权不得商用。

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