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制程临界导热仪(PCTCG)仪器依靠测量腔室壁高于环境温度控制(AATC)以提供改善的精度和热稳定性，同时降低和线性化温度系数。传感器电阻暴露在量具室中的气压下。AATC是通过对加热腔室壁的加热器的控制来提供，以控制传感器电阻和腔室壁之间的...
该专利属于万机仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过万机仪器公司授权不得商用。

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