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一种改良遮挡板的线源蒸镀设备制造技术
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文档序号:38400046
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一种改良遮挡板的线源蒸镀设备,包括:蒸镀腔体,所述蒸镀腔体内设有多个装有蒸镀材料的坩埚,每个所述坩埚上方设有一可升降的遮挡板机构;所述遮挡板机构,包括:一U形遮挡板,所述U形遮挡板下方连接一U形下垂板;所述U形下垂板位于所述U形遮挡板的中心...
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