下载一种改良遮挡板的线源蒸镀设备的技术资料

文档序号:38400046

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种改良遮挡板的线源蒸镀设备,包括:蒸镀腔体,所述蒸镀腔体内设有多个装有蒸镀材料的坩埚,每个所述坩埚上方设有一可升降的遮挡板机构;所述遮挡板机构,包括:一U形遮挡板,所述U形遮挡板下方连接一U形下垂板;所述U形下垂板位于所述U形遮挡板的中心...
该专利属于福建华佳彩有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建华佳彩有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。