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一种无接触式水平电镀装备制造技术
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下载一种无接触式水平电镀装备的技术资料
文档序号:38390875
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本发明公开了提供了一种无接触式水平电镀装备,其包含镀槽、驱动机构、药液循环机构、支承传输机构和导电机构;支承传输机构不导电;导电机构包含放电针机构及依次设置在支承传输机构上侧的上阳极网和上阳极铜排和依次设置在支承传输机构下侧的下阳极网和下阳...
该专利属于福建金石能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建金石能源有限公司授权不得商用。
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