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一种金属微纳结构的制备及转印方法技术
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文档序号:38377815
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本发明公开了一种金属微纳结构的制备及转印方法,包括以下步骤:S1、采用旋涂设备在洁净的单晶硅表面涂覆形成掩膜层;S2、采用机械刻划设备在经步骤S1处理后的单晶硅表面进行刻划(图案化);S3、采用混合镀液在单晶硅表面进行金属定向沉积,沉积完成...
该专利属于西南交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西南交通大学授权不得商用。
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