下载一种具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器的技术资料

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本实用新型公开了一种具有柱状电弧镀膜源的卧式真空镀膜器,该镀膜器包括有卧式真空管、柱弧组件、进口阀以及出口阀;进口阀设置在卧式真空管的一端,与卧式真空管连接;出口阀设置在卧式真空管的另一端,与卧式真空管连接;进口阀、卧式真空管以及出口阀围合...
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