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本发明提供一种双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的系统校准方法及装置，使用待校准的双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪对任意厚度的标准样件进行测量，获得样件对应的测量光强信号，然后用椭偏仪中各个光学器件的待校准参数、标准样件膜厚、偏振光照射到样件表面的入...
该专利属于武汉颐光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉颐光科技有限公司授权不得商用。

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