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本发明提供了一种用于晶圆宏观缺陷检测的显微装置，包括照明单元、无限远成像单元和相机单元；所述照明单元包括光源，从光源至检测目标产品的光路方向依次设有第一透镜、可调光阑、第二透镜和滤光片轮；所述无限远成像单元包括成像筒镜和无限远显微物镜，从检...
该专利属于北京兆维电子（集团）有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京兆维电子（集团）有限责任公司授权不得商用。

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