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本公开内容描述了材料表面处理系统和方法，该系统采用副产品处理系统来接收由于等离子体的施加而产生的副产品，该副产品处理系统配置为降解副产品并将降解的副产品从材料表面处理中排出。所披露的副产品处理系统在从材料处理系统排出之前对副产品改性，以减少...
该专利属于伊利诺斯工具制品有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过伊利诺斯工具制品有限公司授权不得商用。

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