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高迁移率绒面结构IMO/ZnO复合薄膜及太阳电池应用制造技术
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文档序号:3834657
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一种利用磁控溅射技术和MOCVD技术相结合生长高迁移率绒面结构IMO/ZnO薄膜的方法及太阳电池应用。此种技术生长IMO/ZnO薄膜分两个阶段进行。首先,利用溅射技术玻璃衬底上生长一层高迁移率IMO(IMO=Mo掺杂In↓[2]O↓[3],...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。
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