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本发明涉及一种空间用三结砷化镓太阳电池的下电极去底腐蚀方法，包括（１）涂胶、干燥；（２）配置主腐蚀液、２０１腐蚀液；（３）晶片腐蚀、冲洗；（４）有机溶剂清洗，其中步骤（２）中主腐蚀液的体积配比为：过氧化氢∶氢氟酸∶去离子水＝１∶１∶８；步骤...
该专利属于中国电子科技集团公司第十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十八研究所授权不得商用。

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