温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及多晶硅生成技术领域，提供一种多晶硅还原炉的控制方法及装置。所述方法包括：将多晶硅还原炉的各控制参数输入训练好的第一神经网络模型，获取与各控制参数一一对应的各观测数据；从各观测数据中，获取与至少一个预设观测数据相匹配的目标观测数据，...
该专利属于创新奇智（合肥）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过创新奇智（合肥）科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。