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一种硅薄膜太阳电池用宽带隙N型纳米硅材料及其制备方法。所述材料为磷或砷掺杂的 N型宽带隙纳米硅薄膜。首先将待处理样品放入高真空沉积系统中，利用等离子体增强化学 气相沉积方法，通过有效控制辉光功率和硅烷浓度等沉积参数制备出相应的材料。本发明通...
该专利属于侯国付;李贵君;耿新华;魏长春;赵颖所有，仅供学习研究参考，未经过侯国付;李贵君;耿新华;魏长春;赵颖授权不得商用。

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