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本申请涉及薄膜传感器技术领域，特别是涉及一种复合绝缘层结构及其制备方法和薄膜传感器及其应用。用于解决相关技术中绝缘层薄膜内部容易产生气孔和裂纹，从而不利于后续导电敏感图案层制备的问题。一种复合绝缘层结构，包括：层叠的基底层和绝缘层，以及设置...
该专利属于北京石墨烯技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京石墨烯技术研究院有限公司授权不得商用。

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