温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种外延设备用气浮旋转机构，包括：石墨基座、气浮支撑环和气浮基座，气浮支撑环的一端安装在石墨基座内，另一端安装在气浮基座内，石墨基座内部设有多个独立的载气通道，石墨基座顶部均布有多个与载气通道连通的气浮孔，气浮基座底部设有导流槽...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。