下载一种螺杆组件及真空泵的技术资料

文档序号:38320725

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本发明提供了一种螺杆组件及真空泵,涉及干式螺杆真空泵领域。螺杆组件包括第一螺杆转子和第二螺杆转子;第一螺杆转子的端面型线包括依次首尾连接的摆线AB、齿根圆圆弧段BC、摆线CD、渐开线DE以及齿顶圆圆弧段EA,第二螺杆转子的端面型线包括依次首...
该专利属于上海盛剑半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海盛剑半导体科技有限公司授权不得商用。

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