下载基板的受控制局部加热的技术资料

文档序号:38316557

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供了一种用于对设置有热敏感材料(43)的基板(40)的目标表面(41)进行受控制局部加热以改变所述材料的状态的设备。设备包括具有载体表面(36)的载体(3),该载体表面用于在与目标表面相对的承载表面(42)处承载基板(40)。载体具...
该专利属于荷兰应用自然科学研究组织TNO所有,仅供学习研究参考,未经过荷兰应用自然科学研究组织TNO授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。