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本实用新型公开了一种打磨用防堵塞真空吸附平台,包括吸附面板、顶针组件和带有中空型腔的底板,所述吸附面板设置于底板顶部以对所述中空型腔进行封堵,所述顶针组件滑动设置于所述中空型腔中,其中,所述吸附面板上设置有若干个通孔,所述顶针组件包括若干个...该专利属于广东华兰海电测科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东华兰海电测科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种打磨用防堵塞真空吸附平台,包括吸附面板、顶针组件和带有中空型腔的底板,所述吸附面板设置于底板顶部以对所述中空型腔进行封堵,所述顶针组件滑动设置于所述中空型腔中,其中,所述吸附面板上设置有若干个通孔,所述顶针组件包括若干个...