温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于单晶硅拉制的无氧氮化硅坩埚的制作方法，属于单晶硅熔炼提纯的技术领域，包括：S1、将高纯氮化硅粉体与聚硅氮烷(PSZ)充分混合，加入易挥发性有机溶剂，充分搅拌均匀后，制得混合浆料；S2、将混合好的浆料在球磨机上进行球磨处理...
该专利属于长沙新立硅材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙新立硅材料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。