下载背照式图像传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:38273375

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本发明公开了一种背照式图像传感器及其制备方法,包括具有正表面和背表面的半导体衬底,第一介质层叠加覆盖于所述半导体衬底的正表面,金属互连层设于所述第一介质层中;第二介质层覆盖于所述半导体衬底的背表面;微透镜覆盖于所述第二介质层,且微透镜位置与...
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