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一种直拉式单晶炉硅料生产用智能复投装置制造方法及图纸
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下载一种直拉式单晶炉硅料生产用智能复投装置的技术资料
文档序号:38252092
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本发明涉及单晶炉硅料复投技术领域,具体公开了一种直拉式单晶炉硅料生产用智能复投装置,包括底座,所述底座上侧固定连接有加热底盘,所述加热底盘上侧设有炉主壳,所述加热底盘上侧中部放置有石英坩埚,所述石英坩埚位于炉主壳内,所述炉主壳外壁固定连接有...
该专利属于阳光能源(青海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过阳光能源(青海)有限公司授权不得商用。
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