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本发明涉及LED曝光机技术领域,具体涉及一种高效对位曝光装置及对位方法,设备包括曝光机体,内部包括有曝光室,以及往复进出所述曝光室内的开合框体,在所述开合框体的上、下侧分别设有CCD视觉系统和UVW对位平台,所述CCD视觉系统与UVW对位平...该专利属于广东科视光学技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东科视光学技术股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及LED曝光机技术领域,具体涉及一种高效对位曝光装置及对位方法,设备包括曝光机体,内部包括有曝光室,以及往复进出所述曝光室内的开合框体,在所述开合框体的上、下侧分别设有CCD视觉系统和UVW对位平台,所述CCD视觉系统与UVW对位平...