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本发明公开了一种硅谐振压力传感器，其包括谐振层、衬底层和盖板层，谐振层上设置有谐振梁，谐振梁的两端均设置有第一校准电容，盖板层靠近谐振层的一端设置有与第一校准电容相匹配的第二校准电容；本发明还公开了一种硅谐振压力传感器的在线校准方法，包括步...
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