下载快速调整探针卡水平度的探针卡装载台的技术资料

文档序号:38227910

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本实用新型公开了一种快速调整探针卡水平度的探针卡装载台,包括:基板;用于搁置探针卡的至少三块活动翻板,至少三块活动翻板沿基板的周向方向设置,活动翻板具有面向基板的平面中心的第一端和背向平面中心的第二端,活动翻板的第一端通过铰接轴可翻转地安装...
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