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本发明公开了一种旋转标记，所述旋转标记是在不透明的投影掩膜版上的多道宽度相等的长条形透明区，每两道透明区之间具有宽度相等的不透明区；所述旋转标记形成图形后，与相邻的旋转标记形成的图形相重合的边界称为拼接边界；所述旋转标记中，最靠近拼接边界的...
该专利属于上海华虹ＮＥＣ电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹ＮＥＣ电子有限公司授权不得商用。

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