下载用于透明工件的高角度激光加工的方法和光学组件的技术资料

文档序号:38223800

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用于加工透明工件的方法包括:引导沿着射束路径定向的激光射束通过非球面光学元件和透明工件。激光射束以激光射束的1/e2直径的30%或更大的偏移距离从非球面光学元件的中心线轴线径向偏移地冲击非球面光学元件。射束路径和透明工件相对于彼此倾斜,使得...
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