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集成检测器设备及制造集成检测器设备的方法技术
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文档序号:38223787
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一种用于直接检测X射线光子的集成检测器设备(1),其包括:CMOS体(10),该CMOS体(10)包括衬底部分(11)和布置在所述衬底部分的主表面上的电介质部分(12);在所述CMOS体(10)中的集成电路,其在所述主表面处或上方具有用来形...
该专利属于AMS国际有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过AMS国际有限公司授权不得商用。
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