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一种用于亚毫米波天文成像的超导动态电感芯片制造技术
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文档序号:38221221
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本发明涉及亚毫米波天文成像技术领域,且公开了一种用于亚毫米波天文成像的超导动态电感芯片,包括介质基板和制备在介质基板表面的超导电路,超导电路包括超导谐振腔阵列、屏蔽地、共面波导传输线,超导谐振腔阵列包括若干个超导谐振腔,每一个超导谐振腔耦合...
该专利属于上海师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海师范大学授权不得商用。
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