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检测器沿倾斜的光学轴线定位，以从工作表面接收光学辐射。接收到的光学功率的变化用于估计沿工作表面轴线的工作表面定位。所述接收到的光学功率可以从所述工作表面发出，并且所述工作表面的估计温度用于调整所述接收到的光学功率。可以使用一个或两个单元件检...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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