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本发明提供了一种用于探针台的气冷式温控系统，包括：密闭腔室；卡盘结构，设置在密闭腔室内，卡盘结构包括气冷盘、加热盘和卡盘，卡盘内设置有检测卡盘温度的第一温度传感组件；控制器控制加热盘的温度；低温制冷器对气冷盘调节温度，低温制冷器还信号连接于...
该专利属于长沙翼望半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙翼望半导体有限公司授权不得商用。

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