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文档序号:38191604

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本实用新型提供了一种压电精密定位平台。一种精密定位平台可包括第一柔性主体结构和至少一个压电驱动元件,所述第一柔性主体结构包括第一固定端、中间端和第一活动端,所述第一固定端和中间端通过第一柔性臂机构连接,所述中间端和所述第一活动端通过第二柔性...
该专利属于多场低温科技(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过多场低温科技(北京)有限公司授权不得商用。

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