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一种激光光束质量ＢＱ因子检测仪，其构成包括同光路的依次的第一反光镜、第二反光镜、聚焦透镜、可变孔径光阑、成像透镜、分光镜、衰减片和ＣＣＤ，而且所述的聚焦透镜、可变孔径光阑、成像透镜、分光镜、衰减片和ＣＣＤ同光轴，在所述的分光镜的反射方向设置...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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