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本申请公开了一种晶圆盒闩锁机构及晶圆盒，涉及晶圆盒技术领域，晶圆盒闩锁机构设置于门体内用以将门体锁固于盒体，晶圆盒闩锁机构包括转动件、连接件及闩锁件，转动件铰接于门体；连接件的第一端铰接于转动件，转动件的铰接处与连接件的第一端的铰接处间隔设...
该专利属于北京鑫跃微半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京鑫跃微半导体技术有限公司授权不得商用。

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