下载一种硅片收料装置及硅片分选机的技术资料

文档序号:38179975

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本申请提出了一种硅片收料装置,包括主输送单元、下料单元和料盒,其中,下料单元包括分片单元、第一输送单元和第二输送单元,分片单元设置在主输送单元的上方,被配置为拾取主输送单元上的硅片并将硅片移送至第一输送单元或第二输送单元;第一输送单元和第二...
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